流量 [L/min]	213	229	246	262	355	433	567	770	1010	1261	1528	1838	2198	2615	3094	3640	4264	4964	5748	6624	7594	8668	9856	11150	12559	14086	15721	17487	19468	21583	23874	26813
電圧 [mV]	718	790	862	935	1080	1225	1370	1515	1660	1806	1951	2096	2241	2387	2532	2677	2822	2967	3112	3257	3402	3548	3693	3838	3983	4128	4274	4419	4564	4709	4854	5000